《MEMS》問：MEMS是什么？答：MEMS（MicroElectroMechanical Systems），即微機(jī)電系統(tǒng)，是一種將微型機(jī)械結(jié)構(gòu)與電子電路集成在單一芯片上的技術(shù)。簡單來說，MEMS是通過微型化的機(jī)械結(jié)構(gòu)（如傳感器、執(zhí)行器）和 ...